製品情報ケルビンプローブカード

四端子測定のソリューション

ケルビンプローブカードは、四端子測定法（ケルビン接続測定）を採用し、対象デバイスの真の抵抗値を高精度に測定します。四端子測定法を用いることで、電流（Force回路）と電圧（Sense回路）を独立して測定し、接触部の抵抗の影響を排除できます。これにより、対象デバイスの本来の抵抗（Rs）を正確に測定することが可能です。ケルビン測定では、1つの電極（はんだバンプ、パッドなど）に対して2端子を接触させる必要があります。
ケルビン測定は、電極ピッチP=0.35mm～に対応可能です。2端子間のギャップは0.1mmまで詰めることができるため、極小電極にもコンタクトできます。このケルビン測定用プローブは、特許（5597108号）を取得しています。

ポイント：ケルビンプローブを使用する際に必要な特殊ボード加工についても、お客様の測定機器に合わせた専用治具の設計・製作をワンストップで行っています。最適なプローブと治具の組み合わせをご提案し、精密かつ効率的な測定をサポートいたします。