製品情報プローブカード（垂直型・カンチレバー型）の特長・比較
プローブカードとは
プローブカードは、半導体の電気的検査工程で使用される重要な装置です。ウエハ上での前工程検査や、BGA、CSP、QFNなどのパッケージ後の後工程検査があります。前工程の検査ではプローブカードが使われます。
プローブカードはアドバンスト型（垂直型）・カンチレバー型の2種類あります。精研では、コンタクトプローブの技術を活かしたアドバンスト型プローブカードを提供しており、お客様の多様なニーズに応じた最適なソリューションを提案いたします。
垂直型プローブカードの特長
アドバンスト型は配線用基板にプローブなど垂直型端子を用いたブロックを取り付けるプローブカードです。
- プローブの自由な配置：格子状や多数個測定など、柔軟なピン配置が可能です。
- 容易なメンテナンス：個々のプローブを1本から交換でき、メンテナンスが簡単です。
- 小さい打痕：プローブが垂直に接触するため、ウエハへの打痕が最小限に抑えられます。
- はんだバンプへの対応：はんだを傷つけません。
カンチレバー型プローブカードの特長
一方、カンチレバー型は配線用基板にタングステンなどの針を直接基板に取り付けるプローブカードです。
- コストメリット：基板に直接プローブを取り付けるハウジングレス構造のため、垂直型に比べて安価です。
- 狭ピッチ対応：垂直型よりも狭いピッチの電極配置に対応可能です。
- アルミパッドとの安定した接触：アルミ電極との接触性に優れています。
垂直型とカンチレバー型の比較
| 特徴 | 垂直型 | カンチレバー型 |
|---|---|---|
| ピンレイアウト | 自由な配置が可能です。多数個測定に適しています。 |
一般的には周辺配列向きですが、周辺以外も可能です。 |
| メンテナンス性 | 必要な箇所のピンを1本から交換可能で、社内修理が可能です。 |
高さ調整を含む修理が必要で、一般的に業者修理となります。 |
| 打痕 | 上から垂直にコンタクトするため、小さいです。 |
外側から内側へスライドするようにコンタクトするため、大きいです。 |
| アルミ電極 | 基本的には不利ですが、精研の技術で対応可能です。 |
酸化膜に強く、安定した接触が可能です。 |
| 価格 | 相対的に高い傾向があります。 |
相対的に安価で導入できます。 |
お客様の検査条件やニーズに合わせて、最適なプローブカードをご提案いたします。検査に関するお困りごとやご質問がございましたら、お気軽にご連絡ください。