製品情報ケルビン測定用技術
精密抵抗測定を実現する次世代ソリューション
ケルビン接続測定（四端子測定法）は、低抵抗値を高精度に測定するための接続方法です。電流測定用（Force）と電圧測定用（Sense）の2経路に分離することで、リード線や接触抵抗の影響を排除し、測定対象の抵抗値（Rs）を正確に取得できます。ケルビン測定には、専用のコンタクトプローブを「H側（ハイ）」と「L側（ロー）」の各電極に接触させる必要があります。
精研のケルビン測定用技術は、特許取得済（5597108号）の独自設計により、特に微細化されたWL-CSPバンプ、QFNなど、2端子のギャップを極限まで詰めることにより極小バンプ、電極においても安定したコンタクトを実現します。
特長と強み
01 極小電極への高精度コンタクトを実現
従来のプローブ（ニードルタイプ）は、先端がプローブ中心に配置されるため、極小電極に対しては十分な接触が難しい、ケルビン測定用プローブの先端を外側に寄せる設計により、ピンの太さを維持しながら2点間のギャップを最小限（0.1mm以下）に抑え、安定した荷重と正確な測定を実現しています。
（ケルビンプローブ）
02 狭ピッチ電極対応の新型ケルビンプローブ
デバイスの小型化が進む中で、電極サイズも縮小傾向にあります。その結果、通常のニードルやクラウンなどのプローブを2本立てることが難しくなってきました。新型ケルビンプローブを用いることにより2端子間のギャップを詰めることにより狭ピッチの電極（P=0.35まで）に対応します。また、ギャップを詰めることは位置決めのずれなどに対しても強くなります。さらに、治具加工などのワンストップソリューションも提供しています。
一般的なプローブとケルビンプローブの比較
- 一般的なプローブ
プローブ先端ピッチ 160μm～
(プローブ中心間ピッチP=0.3)-
狭ピッチ製品に2点コンタクトさせることを重視した、一般的なコンタクトプローブを用いた構成です。
条件：狭ピッチであり、コンタクト対象が小さい
一般的なプローブでケルビンコンタクトを行う場合は2端子間のギャップを詰める＝プローブ径を細くする必要があります。細くすることにより荷重や許容電流、ピンの強度が下がるというデメリットが有ります。
- 新型ケルビンプローブ
プローブ先端ピッチ 100μm～
(プローブ中心間ピッチP=0.35)-
極細プローブピンより太いプローブを採用し、
検査性能の向上が期待できます。条件：対象は小さいが、ピッチは広め
先端形状を工夫することによりピンの太さはある程度確保したまま2端子間のギャップを詰めることが出来ます。（ギャップは0.1mm）
単純に細いプローブで2本立てすることに比べて荷重、許容電流、ピンの強度を上げることが出来ます。
電極のピッチはP=0.35mmから対応出来るので一般的なWL-CSP、QFNなどを網羅しております。
- 治具の製作条件や電極の配置・形状により、プローブの先端形状がイメージ図と異なる場合があります。まずはお気軽にご相談ください。
治具製作
ケルビンプローブを使用するにあたっては、特殊なボード加工が必要となるためメンテナンス用以外のプローブ販売は行っておりません。プローブカードや専用ソケットキット、お客様の測定機器に合わせた検査治具・プローブホルダーの設計・製作もワンストップで対応いたします。これにより、実装や校正の手間を大幅に削減し、高い生産性と精度を実現します。
ケルビン測定用技術に関する詳細な仕様や導入事例については、ぜひ弊社までお問い合わせください。お客様のご要望に合わせたカスタマイズ提案や、トータルソリューションを提供いたします。
用途例
もっと見る
- 半導体デバイス検査
- WL-CSPバンプ
- QFNパッケージ など