製品情報プローブカード

プローブカードとは

プローブカードは、半導体製造の前工程におけるウエハテストで使用される検査治具です。特に当社のアドバンスト型プローブカードは、基板に垂直プローブを備えたプローブヘッドを取り付けており、ピン配列の自由度が高く、マトリックス状の端子配列にも対応可能です。これにより、プローブマークは従来のカンチレバープローブカードに比べて小さく抑えられます。さらに、アルミ電極だけでなく、はんだバンプやCopper Pillarなどの新しい電極形式にも対応し、プローブ単体の交換が容易なため、メンテナンス性にも優れています。自由自在なピン配列で、多数個同時測定を可能にするアドバンスト型プローブカードです。