製品情報アドバンスト型プローブカード
高精度なウエハテストを実現するアドバンスト型プローブカード
半導体のウエハテストに欠かせないプローブカードです。ICチップが基板に実装される前の段階で、回路の動作確認や品質チェックを行います。プローブカードの役割は、ウエハ上の各ICチップのピンに微小な電気信号を送受信し、テストデータを収集することです。これにより、各チップが正常に動作しているかを迅速かつ正確に判定できます。製造プロセスの初期で不良を見極める重要な役割を果たします。
アドバンスト型（垂直型）プローブカード は、従来のカンチレバー型では難しかった 多数個同時測定やウエハ一括測定 を可能にし、テスト効率を飛躍的に向上させます。さらに、高精度なコンタクト技術により、高周波測定や大電流測定にも対応可能です。
このプローブカードは、ハイスループットを実現し、測定効率を飛躍的に向上させるだけでなく、メンテナンスのしやすさにも優れています。お客様のニーズに合わせた最適なソリューションを提供し、スムーズで効率的なウエハテストを実現します。
アドバンスト型プローブカードの構成
アドバンスト型プローブカードは、「プローブヘッド（ハウジング）」と「プローブカード基板」で構成される検査治具です。精研では、プローブヘッドを自社製作し、高精度なコンタクトプローブと加工技術を活かして、お客様のニーズに柔軟に対応可能です。
プローブヘッド（ハウジング）の特長
プローブヘッドは、エンジニアリングプラスチックまたはセラミックスを使用し、用途に合わせた形状で切削加工されます。
選定可能な材料例
- 樹脂材料：スミカスーパー、トップファインなど
- セラミックス：ホトベールⅡなど
コンタクトプローブを確実に固定し、最適なテスト環境を提供します。
プローブカード基板の種類と特長
プローブカード基板には、用途に応じて「専用基板」と「汎用基板」の2種類があります。
- 専用基板（量産・電気特性重視）
各ユーザーの用途に合わせて設計・製作を行う専用基板。カスタマイズ性が高く、最適なテスト環境を実現できます。
- 汎用基板
一般的なテスターメーカーの規格に準拠した基板で、柔軟なテスト環境を構築可能です。ピンブロックからジャンパー配線を通じて接続し、さまざまなテストに対応します。
※一部の汎用基板については、当社で版権を取得しているものもありますので、ご相談ください。
プローブヘッドと基板の接続方法
- 専用基板（配線レス・高精度）
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- プローブヘッドと基板が直接ドッキングするため、配線は不要です。
- メリット：量産時のランニングコストを削減できます。（初回製作費用は汎用基板と同等、2回目以降不要です）
- デメリット：特定のデバイスレイアウトに依存し、汎用性がありません。
- 汎用基板（柔軟対応・高互換性）
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- 基板の中央に開口部を設け、プローブヘッドを固定します。
- メリット：デバイスのレイアウト変更に対応可能です。
- デメリット：配線抵抗が高くなり、高周波・微小電流テストには
不向きです。
特長と強み
01 精密な位置決めと個片測定が可能
ダイシングされたチップをマニュアルで測定可能です。チップの位置決めに使うガイド枠とチップをコンタクトさせるための蓋の追加オプションがあります。個片測定・検査にも対応可能です。プローブカードの反転でIC個片測定が可能です。固定用のガイドボードや蓋の追加提供にも対応しています。
02 プローブ交換で治具全体のメンテナンスが簡単
プローブ部分の交換のみで治具全体のメンテナンスが可能です。ランニングコストの削減に貢献します。
03 お客様の検査条件に最適なソリューションを提供
お客様の検査条件に合わせた最適なソリューションを提供します。1台からの試作・開発にも対応します。
用途例
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- ウエハテスト
- IC設計
- デバッグ など