半導体向け
SEMICONDUCTOR
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SEMICONDUCTOR
アドバンス（垂直）型プローブカードは、カンチレバー型プローブカードではできなかった「多数個測定」、「ウエハ一括測定」が可能です。 コンタクトプローブの位置精度や高周波測定、および大電流測定にも強く、ハイスループットに優れたプローブカードとなっております。また、ユーザー様でのメンテナンスが容易となり、運用面でも最適の方法をご提案できます。
主な対象デバイスとして、エリアアレイデバイス（WL-CSPなど）やフリップチップデバイス（SoCなど）、ロジック製品（マイコン、SoCなど）に広く適用できるプローブカードです。
アドバンスト（垂直）型プローブカードは、「プローブヘッド（ハウジング）」と「プローブカード基板」を組み合わせた構成となっております。プローブヘッドは弊社のコンタクトプローブ・加工品を使い、全て自社で製作をいたします。そのため、自由度の高いご要望にお応えできます。
プローブカード基板は大きく分けて「専用基板」「汎用基板」の2種類に分けられます。「専用基板」は、主に特殊用途・量産用途に使われ、「汎用基板」は試作・開発・少量生産品などに用いられるケースが多いです。
| プローブヘッド（ハウジング） |
|---|
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| エンジニアリングプラスチック（樹脂）もしくはセラミックスを用途に合わせた形状に切削加工し、コンタクトプローブを固定するブロックです。目的用途によって、樹脂材料をスミカスーパー、ユニレート、トップファイン、セラミックス（ジルコニア・ホトベールⅡ）など選定し、最適な条件でご提案します。 |
| 専用基板 | 汎用基板 |
|---|---|
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| 各ユーザー様の目的・用途にあった基板を専用基板として設計・製作致します。汎用基板同様に基板設計に必要なガーバーデータなどの情報が必要となります。 | 一般的にテスターChは、128Ch（6インチ）、256Ch（8インチ）、512Ch（8インチ）、1024Ch（12インチ）に分けられ、各テスターメーカーの規格に沿った汎用基板があります。こちらを用いてアドバンスト型プローブカードを設計・製作することができます。 ※一部の汎用基板については、弊社で版権を購入している基板もありますので、都度ご相談下さい。 |
| 共通事項として、基板製作には、ガーバーデータなどの情報をユーザー様、テスターメーカー様からいただき 弊社でプローブカードの検討・設計を行います。 |
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| 専用基板 | 汎用基板 |
|---|---|
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| 一般的に配線レスとなります。プローブヘッドが専用基板と直接ドッキング（接続）する為、配線が不要となります。メリットとして、量産製作時、基板製作の初期費用は汎用基板と同等の費用が必要となりますが、2回目以降は不要となります。一方、デメリットとして、特定のデバイスレイアウトに限定される為、他のデバイスへの汎用性がありません。 | 汎用基板の中央に開口部を作り、プローブヘッドを開口部内へ固定します。プローブヘッドからジャンパー配線で汎用基板と接続します。テスターの変更が無ければ、専用基板でデメリットとされていたデバイスのレイアウト変更にも柔軟に対応可能です。但し、配線抵抗等が専用基板よりも高くなります。そのため、高周波・微小電流などには不向きです。 |
アドバンスト（垂直）型プローブカードは、カンチレバータイプと異なり、プローブカードを反転させる事で、個片化したICを単体で測定することができます。（イメージとしては、パフォーマンスボードになります）
反転させた状態ではICを固定出来ない為、ICを固定する枠（ガイドボード）、ICを固定する蓋が追加で必要となります。測定の目的・用途によって、アドバンスト(垂直）型プローブカードと個片測定キッドを同時にご提供も可能です。
