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アドバンスト型プローブカード&ソケットキット

目次

アドバンスト型プローブカード&ソケットキット

WL-CSPの検査においては精研取扱いの両端プローブを用いたプローブカードを提供いたします。
垂直に稼働するコンタクトプローブなどを用いたアドバンスト型はピッチさえ満たせばカンチレバーのようにピン配置に制限がありません。
1つのチップに数百数千の電極があるチップ、数十数百個同時測定など柔軟に対応出来ます。

プローブカードの構成

プローブカードは、「専用基板」「プローブホルダー(コンタクトプローブ)」「中継基板または配線」で構成されています。専用基板はお使いのプローバーをお知らせいただき、対応している基板を製作いたします。プローブカードの核となるプローブホルダーはお客様の検査対象に合わせピン位置、先端形状、荷重の調整を自由に設定できます。最後に専用基板とプローブホルダーを中継基板または配線で接続します。

            
プローブカード専用基板 専用基板
ご使用のプローバー(装置)によって丸型、角型基板の規格が決まっています。それぞれの規格に合った基板を手配できますので、お使いのプローバーの型式をお知らせください。
プローブカードプローブホルダー プローブホルダー
ウエハーなどのパッドやバンプにコンタクトする部分です。ピン配置や荷重は自由に決められます。ハウジング・プローブともに材質の選定が可能です。例えば、熱負荷試験であればハウジングをセラミックに変更したり、非磁性であればプローブ・ネジ等を含め非磁性素材を使用したりできます。
プローブカード中継基板 配線方法
ハウジングと専用基板を接続します。ピッチ間やピン数によって配線にかかる作業時間やコストが変わってきます。2種類の方法から選択ができます。

中継基板と配線の選択

専用基板とプローブホルダーを接続する方法としては2つあります。
1つ目が中継基板を製作する方法、2つ目がエナメル線等で配線する方法です。

 
中継基板方式
中継基板配線
プローブと専用基板を中継基板を利用して接続します。中継基板内で配線されるため、配線もすっきりしており500本以上のプローブの配線も問題ありません。精度の高い測定が必要の際には中継基板での接続が必須です。初回の基板製作費用は発生しますが、リピート時の価格や納期にメリットがあります。
 
線材配線方式
線材配線
線材をつけた中継ピンを使ってプローブと専用基板を接続します。100本程度の接続であれば費用対効果のメリットがだせますが、ピン数が多くなると不具合の発生や修理のしづらさなどの懸念があります。

オプションの追加

プローブカードはプローバーでの運用がメインですが、それ以外にプローブカードをマニュアルでチップを1個ずつ測定出来るICソケット化するオプションもご用意できます。□1mm以下のチップサイズでも対応出来ます。
また、カード部分だけでなくご要望に応じて部品実装なども一貫して承ります。

アドバンスト型プローブカード&ソケットキット

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