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挟ピッチプローブカード

従来は、「前工程検査のカンチレバー」と「後工程検査のコンタクトプローブ」と、使われるシチュエーションは明確に分かれておりました。

しかし、技術の進歩によりWL-CSP、FlipChip、CopperPillarなど挟ピッチでありながらもカンチレバーでは対応出来ないケースが出てきました。

挟ピッチプローブカード

P=80umのピン配置

一般的にはコンタクトプローブをベースとする垂直型カードはP=100um以上の電極ピッチまでしかカバーできませんが、精研はP=100umの壁を破るP=80um対応のコンタクトプローブ、プローブカードを開発しております。

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