プローブ
PROBE
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ケルビン接続とは低抵抗測定を正確に行うため用いられる接続方法です。電流を測定する端子と電圧を測定する端子をわけることによって、リード線の抵抗や接触抵抗の影響を受けずに測定したい抵抗を正確に測定します。
ケルビン測定を行うにあたって、同一の端子、または電極に2本のコンタクトプローブを接触させる必要があります。 ケルビンコンタクトを求められるデバイスはWL-CSPのバンプ、QFNなどの電極が代表的なものになります。
従来では単純にニードルやクラウンなどのプローブを2本立てるだけでしたが、デバイスの小型化が進み、中にはP=0.3mmで並んだバンプに対して2本コンタクトさせなければならない。また、デバイス外形の大きさにばらつきが大きく、外形で位置決めしても電極からピンが外れてしまうなどの不具合の改善などの要求があります。
精研では、ケルビン測定に使用するプローブは2種類に分けられます。1つ目はP=0.3mmのWL-CSPのバンプへのケルビンコンタクトができる極細プローブ。2つ目は、デバイス外形のバラつきが大きくても2本のピンのギャップを0.1mm以下に抑えて電極からピンが外れにくい工夫を施したケルビンプローブの2種類を取り扱い、治具加工を含めたソリューションを提供いたします。ピン交換も通常のプローブ同様の方法で行うことができます。
ピンボードに挿入後の使用例（ケルビンプローブ）
標準のプローブ（ニードルタイプ）では先端がプローブの中心となるため、小さい電極にケルビンコンタクトをするにはプローブの外径を細くし、2点間のギャップを埋める方法がとられてきました。しかしながら、プローブが細くなると荷重が低くなり接触の安定性に不安がでてきます。
ケルビンコンタクト用プローブの先端はプローブの外形ギリギリのところあります。先端を外側に寄せることで、ピンの太さを変えずに、2点間のギャップを抑えることができます。そのため、安定した位置でのコンタクト、荷重を維持することができます。
※治具の製作条件、電極の配置・形状により、プローブの先端形状がイメージ図と異なる場合があります。まずはご相談ください。
ケルビンプローブを使用するにあたっては、特殊なボード加工が必要となります。弊社ではお客様が使用する測定機器にあわせて取り付けられる 治具（プローブホルダー他）の製作を承っております。ご状況に合わせて、ケルビンプローブを使用するか、通常のプローブを使用するかを判断し 治具を製作いたします。
