プローブカードに使用するコンタクトプローブ
ケルビン測定に対応したプローブカードの製作においては、2品種のプローブを状況により使い分けて使用しています。 電極ピッチP=0.3mm～に用いる極細プローブとP=0.4mm～に用いるケルビンプローブを取り扱っています。
| 極細プローブ | ケルビンプローブ |
|---|---|
 |
 |
| P=0.3～ | P=0.4～ |
| 狭ピッチ製品に2点コンタクトをさせることを重視。 コンタクトの精度が良いので極めて小さいパッド等に採用する。ただし、極細のプローブであるため、低荷重・許容電流が小さく、導通の安定性には不利。 |
比較的太いプローブピンを採用し、高い荷重でコンタクトができるので導通が安定。許容電流も大きくなり検査性能が向上。2点間の距離を0.1㎜以下までつめることができる。治具の設計上、振れ幅は極細プローブよりも若干大きくなる傾向がある。 |
垂直に可動するコンタクトプローブを用いたアドバンスト型プローブカードはピッチさえ満たせばカンチレバーのようにピン配置に制限がありません。数箇所コンタクトするチップ/1個測定から、1つのチップに100～1000個の電極があるもの、または数十個～数百個のチップを同時測定など柔軟に対応出来ます。
ソケットキット製作
プローバーでの運用以外に、製作したプローブカードを使用して、ICソケット化するオプションもご用意できます。チップをマニュアル測定ができるようになり、□1mm以下のチップサイズでも対応が可能です。
そしてカード部分だけでなくご要望に応じて弊社で中継基板の手配から部品実装、配線まで一貫して承ります。
